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罗茨-旋片-油扩散泵真空机组


特点与应用:
      该机组采用油做工作介质,对于怕油污染的真空环境,其使用受到了一定限制。但采用五氯酚苯基乙醚或五氯酚苯基硅氧烷为工作液,返油就会得到很大改善。也可以采用水冷挡板,再装一个简单的液氮阱,可使返油率小于5×10-6mg/cm2因而可广泛地应用于光学工业、电子工业、真空冶金、航天及原子能工业中。
      该机组的主泵有:(JK系列)直腔式油扩散泵和(JKT系列)凸腔式油扩散泵两种类型。典型的应用设备有各种真空单晶炉、真空烧结炉和真空镀膜机等。
      该机组具有结构紧凑,操作灵活可靠,使用方便等特点,广泛应用于电子工业、冶金工业、化学工业、原子能工业以及宇航等科研技术领域。可为真空烧结炉,各种真空镀膜机以及真空电子束焊机、各类真空电炉、电子显微镜、各种电子射线、加速器、宇宙空间模拟容器所需之高真空环境均可用JK系列扩散泵真空机组来实现。
      该机组可配套提供JZ系列油扩散喷射泵真空机组(又称油增压泵机组)。该机组抽气能力大、粗抽时间短、设备维护简单、操作方便,是真空应用设备的配套设备。但该机组不适于排除对金属有腐蚀作用及对泵油产生化学反应的气体。现广泛地被太阳能制品企业所应用。

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